D.
Předseda ÚNMZ:
Mgr.
. Viktor Pokorný, r.Věstník 4/2014
45
OZNÁMENÍ 39/14
Úřadu pro technickou normalizaci, metrologii a státní zkušebnictví
o státním etalonu
Úřad pro technickou normalizaci, metrologii státní zkušebnictví podle odst. února 2014,
uloženém v odboru metrologie ÚNMZ úseku fundamentální metrologie Českého metrologického institutu v Praze. Petr Klapetek, Ph. zákona č.
Garantem etalonu byl jmenován Mgr.
Etalonu přiděleno kódové označení ECM 110 -10/14 056.
Pro veličiny, pro které možno provést mezilaboratorní porovnání, jsou metrologické charakteristiky etalonu následující:
Měřená veličina Rozsah Nejlepší měřicí schopnost
Výška schodku 0-18 (0,008*výška schodku)
Šířka masky 0-180 (0,002*šířka)
Další technické údaje včetně metrologických charakteristik jsou uvedeny schvalovacím protokolu dne 28.
Etalon skládá následujících základních částí:
Položka Výrobní číslo
Měřicí stolek Flexure stage 84798997900
YAG laser 0807-cz
Základní metrologické charakteristiky:
Měřicí rozsah: 200x200x20 μm
Nejistota pozicování v ose nm
Nejistota pozicování v ose nm
Nejistota pozicování v ose 0,5 nm
Nejistota měření interferometry 0,3 nm
Udané nejistoty jsou rozšířené nejistoty stanovené při úrovni pravděpodobnosti %., metrologii,
ve znění pozdějších předpisů oznamuje, etalon
délky tvaru oblasti nanometrologie
jehož uchováváním pověřen Český metrologický institut, Oblastní inspektorát Brno, Okružní 31, 638 Brno, byl schválen
jako státní etalon České republiky.505/1990 Sb. písm
