Od elektráren k mikroelektronice. Kdybychom měli rozsvítit stowattovou žárovku roztáčením dynamka ruční klikou, vydrželi bychom to jen krátkou chvíli. Teprve však po deseti hodinách takové úmorné dřiny bychom vykonali práci jedné kilowatt hodiny, za kterou platíme jen několik desítek haléřů. Každý z deseti generátorů sibiřské hydroelektrárny Sajano-Šušenskoje má výkon odpovídající výkonu svalů více než osmi miliónů lidí. Během příštího století lidstvo patrně spotřebuje více energie, než ji spotřebovalo za všechna předcházející tisíciletí své minulosti. Jedním z nejnaléhavějších úkolů vědy a techniky je tuto energii zajistit.
Kondenzátory totiž zabírají příliš
velkou plochu (až mm2) pro poměrně malé kapacity. Druhá elektroda
se pak tuto vrstvu napaří jako tenká kovová vrstva. 41). Pokovené vývody rezistoru později spojí vodiči
nanesenými izolující vrstvu oxidu tvaru tenkých vrstev, např.
vrstva SiO, ,
, kontaktní
plošky
vrstva SiO2
tenkávrstva
kovu
kontaktní
plošky
čip odporová oblast dobřevodivá oblast
Obr. Tím vytvoří maska pro následující
proces difúze. dalším procesu nanesení maskovací vrstvy
a leptání vytvoří malá okénka pro místa připojení rezistoru pokoví
se (obr. páry bóru.
zlatých nebo hliníkových.odkryje zde povrch křemíku. 41. 42) nejprve křemíku difúzí vytvoří
jedna elektroda jako dobře vodivá ploška zakryje dobře izolující
vrstvou oxidu, která tvoří dielektrikum kondenzátoru. vše obstarávají automatická zařízení (obr.
Diody tranzistory nejsou při výrobě monolitických integrova
ných obvodů žádným problémem, třebaže vyžadují několikanásobný
proces difúze vždyť tyto obvody vznikly výrobních postupů
tranzistorů.
Když okénko opět uzavře vrstvou oxidu, odporová oblast uzavřena
v základním materiálu. Atomy bóru
při tom vnikají difundují křemíku.
Difúze proces vpravování příměsí polovodiče, aby dosáhlo
změny jeho vodivosti. 42. Příklad realizace kondenzátoru
v monolitickém integrovaném obvodu (řez
čipem)
Pro kondenzátor (obr. Tento proces byl vyvinut pro výrobu polovodičo
vých diod tranzistorů byl doveden velké technické dokonalosti. monolitického
integrovaného obvodu plocha „obrovská“ neboť mohlo
umístit několik desítek tranzistorů nebo rezistorů.
Na okénko masky nechají působit např.
88
. 40). Příklad realizace rezistoru
v monolitickém integrovaném
obvodu (řez čipem)
Obr. Dává ovšem
přednost takovým zapojením obvodu, která kondenzátory nepotřebují
(nebo nahrazují kombinací diod). Hloubka vniku koncen
trace atomů bóru křemíku řídí podmínkami průběhu procesu
