Poznámky redaktora
• klasickém režimu měření
voltampérových charakte
ristik možno pracovat ve
4-kvadrantovém režimu až
do ±210 V/1 rozlišením
100 nebo dokonce
10 externím předzesi-
lovačem.
• Rozsáhlá škála příslušenství
(kryostat, pec,.
Amplified Detector
4200A-SCS
• Modulární, komplexní
analyzátor parametrů, který
umožňuje proměřovat
charakteristiky polovodičo
vých materiálů režimech
U/l C/V, pulzním vybave
ním Ultra-Fast U/l.
• Pro impedanční měření
v rozsahu frekvencí kHz
- MHz základním
napětím ±30 možností
interního bias, nebo
externího V.
• Měření elektrické impe
danční spektroskopie (EIS),
admitance, permitivity
a kapacityje prováděno
ze softwarové platformy
XMstudio MTS společně
s integrovanou funkcí
navrhování ekvivalentních
analogových obvodů.) činí toto
řešení komplexím pro cha
rakterizaci materiálů.
• Pro základní U/l charakte
rizace lze použít měřicí
zdroje KEITHLEY řad 2400
a 2600B (pro tuto řadu je
k dispozici IVy pro mo
bilní telefony, který automa
tizaci měření usnadňuje).
• Uživatelsky zaměřený
SW ClariusTM poskytuje
interaktivní návody, návrhy
zapojení konfiguraci pří
stroje pro stovky standard
ních úloh polovodičovém
výzkumu průmyslu..
U/l
CHARAKTERIZAČNÍ
SYSTÉMY
19
.
• Střídavé testovací techniky
zahrnují vše analýzy
jednoho cyklu mul-
tisine rychlou Fourierovu
transformaci pro rychlejší
nízkofrekvenční analýzu,
harmonické intermodu-
lace pro testování linearity
a rozpadu materiálů.
• Systém lze rozšiřovat podle
aktuálních potřeb.
• pulzním režimu rozsahu
±40 (80 Vp-p), ±800 mAje
k dispozici arbitrary gene
rátor rozlišením časové
oblasti ns.
• Tentýž modul umožňuje
měřit závislost kapacity na
napětí, frekvenci čase.
• Pro snímání přechodové
charakteristiky jsou použity
dvě A/D jednotky 200 MSa/
sec ns), jedna pro měření
napětí jedna pro proud.
• Měření časové doméně
zahrnuje volt-ampérovou
charakterizaci měření
pomocí rychlých pulsů..teste
U/l CHARAKTERIZAČNÍ SYSTÉMY
4200A-SCS
KEITHLEY
A Tektronix Company
4200 PMU
MATERIALS LAB XM
• Materials Lab apli
kační specifický (Xtreme
Measurement) nástroj,
který primárně zaměřen
na materiálový výzkum. Vyře
šena podpora různých
kontaktovacích stanic,
kryogenních systémů po
užívaných oblasti výzku
mu vývoje polovodičových
materiálů.
• Pro urychlení měření za
mezení chyb při přepojová
ní dispozici také přímo
řízená přepínací jednotka
4200A-CVIV Multi-Switch, se
kterou možno auto
matizovat přepínání mezi
režimy U/l C/V
