Poznámky redaktora
• Uživatelsky zaměřený
SW ClariusTM poskytuje
interaktivní návody, návrhy
zapojení konfiguraci pří
stroje pro stovky standard
ních úloh polovodičovém
výzkumu průmyslu.. Vyře
šena podpora různých
kontaktovacích stanic,
kryogenních systémů po
užívaných oblasti výzku
mu vývoje polovodičových
materiálů..
• Pro urychlení měření za
mezení chyb při přepojová
ní dispozici také přímo
řízená přepínací jednotka
4200A-CVIV Multi-Switch, se
kterou možno auto
matizovat přepínání mezi
režimy U/l C/V.
• Systém lze rozšiřovat podle
aktuálních potřeb.
• Pro impedanční měření
v rozsahu frekvencí kHz
- MHz základním
napětím ±30 možností
interního bias, nebo
externího V.teste
U/l CHARAKTERIZAČNÍ SYSTÉMY
4200A-SCS
KEITHLEY
A Tektronix Company
4200 PMU
MATERIALS LAB XM
• Materials Lab apli
kační specifický (Xtreme
Measurement) nástroj,
který primárně zaměřen
na materiálový výzkum.) činí toto
řešení komplexím pro cha
rakterizaci materiálů.
• Rozsáhlá škála příslušenství
(kryostat, pec,.
• Střídavé testovací techniky
zahrnují vše analýzy
jednoho cyklu mul-
tisine rychlou Fourierovu
transformaci pro rychlejší
nízkofrekvenční analýzu,
harmonické intermodu-
lace pro testování linearity
a rozpadu materiálů.
• Měření elektrické impe
danční spektroskopie (EIS),
admitance, permitivity
a kapacityje prováděno
ze softwarové platformy
XMstudio MTS společně
s integrovanou funkcí
navrhování ekvivalentních
analogových obvodů.
• Měření časové doméně
zahrnuje volt-ampérovou
charakterizaci měření
pomocí rychlých pulsů.
Amplified Detector
4200A-SCS
• Modulární, komplexní
analyzátor parametrů, který
umožňuje proměřovat
charakteristiky polovodičo
vých materiálů režimech
U/l C/V, pulzním vybave
ním Ultra-Fast U/l.
• Tentýž modul umožňuje
měřit závislost kapacity na
napětí, frekvenci čase.
• Pro základní U/l charakte
rizace lze použít měřicí
zdroje KEITHLEY řad 2400
a 2600B (pro tuto řadu je
k dispozici IVy pro mo
bilní telefony, který automa
tizaci měření usnadňuje).
• Pro snímání přechodové
charakteristiky jsou použity
dvě A/D jednotky 200 MSa/
sec ns), jedna pro měření
napětí jedna pro proud.
U/l
CHARAKTERIZAČNÍ
SYSTÉMY
19
.
• klasickém režimu měření
voltampérových charakte
ristik možno pracovat ve
4-kvadrantovém režimu až
do ±210 V/1 rozlišením
100 nebo dokonce
10 externím předzesi-
lovačem.
• pulzním režimu rozsahu
±40 (80 Vp-p), ±800 mAje
k dispozici arbitrary gene
rátor rozlišením časové
oblasti ns
