Tříosé
akcelerometry jsou sestaveny tří idel, nichž každé měří zrychlení jiné rovině. Jsou čidla
založená fyzikálních vlastnostech jsou využívána jak průmyslu, tak běžném
životě, jako například průmyslové automatizaci, robotice, automobilovém průmyslu,
medicíně elektronice.1. Pokud
na akcelerometr nepůsobí vnější zrychlení, měří pouze sílu gravitace.
.2 Mechanické veličiny
2.
Mezi nejčastěji používané technologie patří kapacitní MEMS, piezorezistivní a
piezoelektrické akcelerometry.2.
2.1. Podle měřícího principu lze snímače polohy rozdělit několika
základních typů.1 Snímače polohy
Snímače polohy slouží měření lineárního nebo rotačního pohybu objektů převádějí
tuto informaci elektrický signál, který dále snadno zpracovatelný.
Akcelerometry jsou zařízení sloužící měření lineárního úhlového
zrychlení. Tyto akcelerometry jsou běžné mobilních zařízení kvůli
kompaktnosti.
Magnetické snímače, včetně jazýčkových kontaktů nebo Hallových sond,
využívají změny magnetického pole detekci polohy. Používají se
například pro detekci vzdáleností, měření tlouštěk vodivých vrstev defektoskopii. Tento
snímač vhodný pro měření velmi malých pohybů, avšak parazitní kapacita může
snímač zásadně ovlivnit.
Optické snímače detekují polohu pomocí světelného toku. Jazýčkové kontakty spínají s
přiblížením permanentního magnetu.
Kapacitní snímače využívají změnu kapacity kondenzátoru. Způsobu
měření může být přerušení světelného paprsku, měření odrazu nebo interferenci mezi
paprskem zdroje paprskem odraženým objektu[6].20
2.2.2 Akcelerometry
K určení souřadnic orientace objektu prostoru často používají snímací zařízení. Hallova sonda měří změny intenzity magnetického
pole. Při vyšších frekvencích nebo amplitudách zhoršuje jejich přesnost. Základní jednotkou
měření akcelerometry mohou pracovat jedné, dvou nebo třech osách. Zdrojem světla je
většinou LED dioda nebo laser, detektorem fotodioda nebo fototranzistor. Akcelerometry mohou být použity pro statická gravita zrychlení, například
pro ení úhlu vychýlení objektu nebo také dynamického zrychlení.
Jedním takových snímačů jsou akcelerometry. Změna nastává v
důsledku změny geometrie elektrod (jejich vzdálenosti nebo plochy překrytí). Při zrychlení mění vzdálenost mezi hmotami, což zase
mění kapacitu kondenzátoru. Kapacitní MEMS akcelerometry pracují principu
hmoty upevněné pružinkách.
Indukčnostní snímače, zjišťující změny indukčnosti cívky, počítají pohybem
feromagnetického jádra nebo změnou vzdálenosti mezi prvky cívek.1