Od elektráren k mikroelektronice. Kdybychom měli rozsvítit stowattovou žárovku roztáčením dynamka ruční klikou, vydrželi bychom to jen krátkou chvíli. Teprve však po deseti hodinách takové úmorné dřiny bychom vykonali práci jedné kilowatt hodiny, za kterou platíme jen několik desítek haléřů. Každý z deseti generátorů sibiřské hydroelektrárny Sajano-Šušenskoje má výkon odpovídající výkonu svalů více než osmi miliónů lidí. Během příštího století lidstvo patrně spotřebuje více energie, než ji spotřebovalo za všechna předcházející tisíciletí své minulosti. Jedním z nejnaléhavějších úkolů vědy a techniky je tuto energii zajistit.
Často vytvářejí naparováním růz
ných materiálů vakuu. Toho využívá tak,
že těsně podložky umístí šablona (např. Tyčinka nebo
drát naparovaného materiálu konci prudce ohřívá odpařuje
dopadajícím elektronovým paprskem samočinně posouvá záběru
s paprskem. samozřejmé,
že při takové velikosti součástek nelze vystačit technologií používanou
při výrobě desek plošných spojů když základní myšlenka této
technologie odvozena) musí používat přesnější jemnější
způsoby. podobné jako srážení vodních par
na povrchu chladných předmětů, např. podložku napaří větší nebo menší tloušťka
vrstvy podle doby naparování. Vloží-li jejich dráhy nějaká překážka, vznikne pod
ložce „stín“ tj.
Nevýhodou může být to, při tom někdy odpařuje nanáší
i materiál kelímku. místo bez napařené vrstvy. Potřeba kelímku tím odpadá. Technologií tenkých vrstev lze jeden
čtverečný centimetr směstnat 100 součástek! Podrobnosti struktury
obvodu lze těžko rozeznat použitím dobré lupy. Vrstva
se napaří jen místě těchto otvorů. Okenní sklo
zde zastupuje podložka zdrojem par elektricky žhavený malý kelímek
s naparovaným materiálem. Řešení nabízí elektronový paprsek. Obojí evakuovaném prostoru vzdále
nosti asi sebe. Proces opakuje jinou šablonou
a jiným naparovaným materiálem několika takových operacích
vznikne podložce struktura tenkovrstvého obvodu všemi sou
částkami.
Tenké stvy, naparování šablony
Začněme tenkými vrstvami.
84
. postupně napařují přes
výměnné šablony.vytvoří tak, vodivá dráha rozšíří plošku, pokryje izolační
(dielektrickou) vrstvou opět nanese vodivá vrstva jako druhá
elektroda kondenzátoru (obr. 38). okenních sklech. tenkého plechu ušlechtilé
oceli), která otvory tvaru žádaného vzorku (obr. 39).
Pro vytvoření potřebných tvarů součástek vodičů používají
šablony masky, jednotlivé vrstvy např. Udržováním vhodné teploty podložky
lze získat potřebnou strukturu vrstvy, volbou materiálů postupu lze
dosáhnout toho, napařená vrstva pevně lpí podložce.
Částečky odpařovaného materiálu pohybují podložce téměř
přímočaře
