Spolehlivé sítě průmyslového Ethernetu s velkou dostupností. Inteligentní modul I/O řady X20 zvyšuje dostupnost strojů. Rozšíření zorného pole snímače čárového kódu DataMan. Nové řádkové kamery Basler Racer. Programovatelné relé pro všechny bezpečnostní funkce ... skokové automaty ATS-C od společnosti Eaton. Podnikání. Společnost ZAT dokončila modernizaci další elektrárny na Kubě ...
pro stabilizaci obrazu nebo při
montáži výrobních zařízení. Například strojních zařízeních
se často používají magnetické snímače, kte-
ré sledují, zda jsou ochranné kryty otevřeny
či zavřeny. Přidá-li k tomu
schopnost tento pohyb měřit, vzniká akcelero-
metr nebo sklonoměr, tedy snímače, které jsou
schopny měřit pohyb nebo polohu zařízení. Bez-
drátové herní ovladače umožňují hráčům
videoher pohodlněji ovládat herní konzo-
le, např. Tento růst po-
háněn zejména použitím v chytrých mobil-
ních telefonech. Jednoosý sklo-
noměr SCA61T společnosti VTI rozlišení
Obr.
Ve složitých technických systémech jsou
vždy důležité snímače.
To také stále hudba budoucnosti, ale ne-
znamená to, technika MEMS nenašla své
místo trhu. Tyto
mechanismy byly konstruovány s využitím
technologií převzatých z oboru výroby polo-
vodičových součástek a pomohly zdokona-
lení procesu výroby MEMS. Společnost
Kionix významným dodavatelem inerci-
álních zařízení MEMS, která nacházejí
v mnoha současných ovladačích.
Společnost VTI vyvinula sklonoměry vy-
užívající MEMS, které umožňují přesně mě-
řit sklon např.
pokus o krádež automobilu.
Následně medicínský výzkum a diagnos-
tika staly hlavními oblastmi využití MEMS. LSM303DLH, tříosý akcelerometr a
tříosý digitální magnetometr v jednom balení,
s integrovanou řídicí logikou a rozhraním I2C,
od společnosti STMicroelectronics ideální
pro mobilní telefony
Obr. Jejich komerční
využití však bylo omezené. Xbox nebo Playstation. Používají se
např.
Dalším příkladem jsou MEMS s mem-
bránovým senzorem tlaku.
Podobným příkladem jsou gyroskopy,
které umožňují měřit malé změny orien-
tace třech osách pohybu. SCA61T společnosti VTI jsou jedno
osé sklonoměry založené 3D-MEMS
. Jak technika
MEMS vyvíjela, byly činěny pokusy použí-
vat stejně jako makroskopické elektrome-
chanické systémy, včetně pokusů o konstruk-
ci jednoduchých strojů využívajících převo-
dy a páky v rozměrech tisícin milimetru. při volném pádu. tomu tak zejmé-
na u zařízení, kde nutné zajistit jejich bez-
pečnost. Společnost
RS Components nabízí tříosé akcelerometry
Kionix spolu sadami pro vývoj a testová-
ní zařízení.
Schopnost spolehlivě a opakovaně vytvá-
řet trojrozměrné struktury v takto malém mě-
řítku však brzy našla využití v oblasti biome-
dicínského inženýrství.
Akcelerometry, které byly původně zabu-
dovány snímačích airbagů, lze nyní na-
lézt v mobilních telefonech, herních ovlada-
čích a dalších ovládacích zařízeních. Dokážou zjistit např.
Ještě dalším příkladem jsou MEMS s hmot-
ným tělískem, které může pohybovat v jed-
né, dvou nebo třech osách. Tato zařízení jsou
nyní dostatečně malá to, aby mohla být po-
užita v lékařských přístrojích implantovaných
do těla pacienta. S vývojem techniky však tyto sní-
mače nabývají důležitosti i v jiných oblas-
tech a se zavedením MEMS stávají stále
„chytřejšími“.
Systémy MEMS umožnují, aby specia
lizovaná medicínská technika překročila práh
nemocnic a lékařských klinik a mohla být
v dalším vývoji přizpůsobena pro použití
v zařízeních pro domácí péči, takže pacien-
ti budou moci použít diagnostické přístroje
s MEMS sledování svého zdravotního sta-
vu v relativním pohodlí domova. orientaci mo-
nitoru a podle natočit obraz zjistit ne-
oprávněnou manipulaci zařízením, např. Právě tento obrovský nárůst
použití v masovém měřítku stal pobídkou
Technika MEMS umožňuje výrobu
pokročilých senzorů
k větším investicím vývoje snímačů zalo-
žených MEMS.41AUTOMA 12/2012
snímače měřicí technika
Když byla před asi patnácti lety vyvinu-
ta technologie výroby elektromechanických
systémů v mikroskopickém měřítku, zvaných
MEMS, očekávalo se, tyto systémy budou
mít velkou budoucnost, ale konkrétní předsta-
vy o jejich využití chyběly. Testovací systém pro digitální inerci
ální snímače ADI iMEMS® urychluje a usnad
ňuje konfigurování, testování analýzu
výkonových charakteristik a integrovaných
funkcí inerciálních snímačů ADI s digitálním
výstupem
Obr. Spo-
lečnost Components nabízí akcelerometry
od všech předních výrobců, které vzájem-
ně odlišují především citlivostí a jsou vhod-
né pro různé úlohy. Příkladem jsou kompa-
sy založené MEMS, které montují do
mobilních telefonů a zajišťují orientaci mapy
ve směru pohybu.
Společnost STMicroelectronics však
jen jedním z mnoha dodavatelů polovodičo-
vých součástek využívajících MEMS. Schopnost integrovat analogo-
vé snímače s digitální elektronikou silnou
stránkou MEMS počátku jejich vývo-
je, ale teprve teď lze plně využít.
Například zařízení LSM303DLH společ-
nosti STMicroelectronics tříosý akcelero-
metr a tříosý digitální magnetometr v jednom
balení, s integrovanou řídicí logikou a rozhra-
ním I2C.
při zpracování kapalin buněčné úrovni.
Komplexní testovací sada pro zařízení
LSM303DLH zahrnuje mikropočítač ST7-
-USB pro interakci s počítačem, aplikační
program eCompass a software pro grafické
uživatelské rozhraní. Funkce tohoto zařízení lze nakonfi-
gurovat tak, aby aktivovalo při detekci po-
hybu, např. V mobil-
ních zařízeních lze gyroskopy založené na
MEMS použít zjištění pohybu nebo změ-
ny orientace v důsledku náhodné úmyslné
činnosti. v řídicích systémech letadel.
Snímače pohybu v dnešní době za-
čínají běžně používat v masovém měřítku. Četnost použití snímačů za-
ložených technice MEMS v současnosti
roste exponenciální řadou. V kombinaci
se snímači GPS mohou gyroskopy doplnit
navigační přístroje. MEMS uplatnily
v oblastech, kde nemohly být použity mak-
roskopické elektromechanické stroje, např. Díky použití technologie
výroby polovodičových součástek jsou zaří-
zení MEMS kompaktní a ekonomicky výhod-
ná a díky intenzivnímu výzkumu a vývoji vy-
soce spolehlivá
