Od elektráren k mikroelektronice. Kdybychom měli rozsvítit stowattovou žárovku roztáčením dynamka ruční klikou, vydrželi bychom to jen krátkou chvíli. Teprve však po deseti hodinách takové úmorné dřiny bychom vykonali práci jedné kilowatt hodiny, za kterou platíme jen několik desítek haléřů. Každý z deseti generátorů sibiřské hydroelektrárny Sajano-Šušenskoje má výkon odpovídající výkonu svalů více než osmi miliónů lidí. Během příštího století lidstvo patrně spotřebuje více energie, než ji spotřebovalo za všechna předcházející tisíciletí své minulosti. Jedním z nejnaléhavějších úkolů vědy a techniky je tuto energii zajistit.
Vypracování hrubé
struktury větších plošek obrazce svěří světlu elektronovému
paprsku zůstane jen dokončení jemných detailů. Celý pochod musí ovšem probíhat vakuu.
Řízení elektronové sondy sledem elektrických signálů skýtá
výhodnou možnost, která chybí optickým metodám osvitu. Jsou dispozici krycí
laky vhodné pro oba způsoby osvitu. Počítači zadá pracovní program všechny potřebné operace,
včetně přesného umístění masky, probíhají samočinně (obr. Program
se může snadno upravovat, nahrazovat jiným také uchovat pro
pozdější použití. Paprsek
elektronové sondy veden ploše rozsvěcován místech, kde
má být lak vytvrzen. 31. však možné tuto dobu zkrátit.
Obr. 31). Zhotovení
masky může obstarat zcela samočinně elektronické maskovací zařízení
tvořené počítačem přídavnými obvody pro ovládání elektronové
sondy.Hlavní rozdíl proti osvitu světelnými paprsky tom, osvit
neprovádí naráz celé ploše, ale postupně bod bodu.
Protože osvit probíhá bod bodu, trvá déle než optický osvit
celé plochy.
Lze tak vypracovat detaily rozměry 0,5 (J,ma méně. Zařízení pro expozici maskovacích vrstev elektronovým paprskem příslušným
měřicím řídicím zařízením (výrobek VEB Carl Zeiss, Jena, NDR)
64
