505/1990 Sb.Věstník 4/2014
45
OZNÁMENÍ 39/14
Úřadu pro technickou normalizaci, metrologii a státní zkušebnictví
o státním etalonu
Úřad pro technickou normalizaci, metrologii státní zkušebnictví podle odst. zákona č.
Etalonu přiděleno kódové označení ECM 110 -10/14 056.
.D. února 2014,
uloženém v odboru metrologie ÚNMZ úseku fundamentální metrologie Českého metrologického institutu v Praze., metrologii,
ve znění pozdějších předpisů oznamuje, etalon
délky tvaru oblasti nanometrologie
jehož uchováváním pověřen Český metrologický institut, Oblastní inspektorát Brno, Okružní 31, 638 Brno, byl schválen
jako státní etalon České republiky.
Pro veličiny, pro které možno provést mezilaboratorní porovnání, jsou metrologické charakteristiky etalonu následující:
Měřená veličina Rozsah Nejlepší měřicí schopnost
Výška schodku 0-18 (0,008*výška schodku)
Šířka masky 0-180 (0,002*šířka)
Další technické údaje včetně metrologických charakteristik jsou uvedeny schvalovacím protokolu dne 28.
Předseda ÚNMZ:
Mgr. písm.
Etalon skládá následujících základních částí:
Položka Výrobní číslo
Měřicí stolek Flexure stage 84798997900
YAG laser 0807-cz
Základní metrologické charakteristiky:
Měřicí rozsah: 200x200x20 μm
Nejistota pozicování v ose nm
Nejistota pozicování v ose nm
Nejistota pozicování v ose 0,5 nm
Nejistota měření interferometry 0,3 nm
Udané nejistoty jsou rozšířené nejistoty stanovené při úrovni pravděpodobnosti %. Viktor Pokorný, r.
Garantem etalonu byl jmenován Mgr. Petr Klapetek, Ph
