Od elektráren k mikroelektronice. Kdybychom měli rozsvítit stowattovou žárovku roztáčením dynamka ruční klikou, vydrželi bychom to jen krátkou chvíli. Teprve však po deseti hodinách takové úmorné dřiny bychom vykonali práci jedné kilowatt hodiny, za kterou platíme jen několik desítek haléřů. Každý z deseti generátorů sibiřské hydroelektrárny Sajano-Šušenskoje má výkon odpovídající výkonu svalů více než osmi miliónů lidí. Během příštího století lidstvo patrně spotřebuje více energie, než ji spotřebovalo za všechna předcházející tisíciletí své minulosti. Jedním z nejnaléhavějších úkolů vědy a techniky je tuto energii zajistit.
místo bez napařené vrstvy. Okenní sklo
zde zastupuje podložka zdrojem par elektricky žhavený malý kelímek
s naparovaným materiálem.vytvoří tak, vodivá dráha rozšíří plošku, pokryje izolační
(dielektrickou) vrstvou opět nanese vodivá vrstva jako druhá
elektroda kondenzátoru (obr. Vloží-li jejich dráhy nějaká překážka, vznikne pod
ložce „stín“ tj. okenních sklech. Potřeba kelímku tím odpadá. Často vytvářejí naparováním růz
ných materiálů vakuu. podobné jako srážení vodních par
na povrchu chladných předmětů, např.
Tenké stvy, naparování šablony
Začněme tenkými vrstvami. 39).
84
. Řešení nabízí elektronový paprsek. postupně napařují přes
výměnné šablony.
Částečky odpařovaného materiálu pohybují podložce téměř
přímočaře. Udržováním vhodné teploty podložky
lze získat potřebnou strukturu vrstvy, volbou materiálů postupu lze
dosáhnout toho, napařená vrstva pevně lpí podložce. samozřejmé,
že při takové velikosti součástek nelze vystačit technologií používanou
při výrobě desek plošných spojů když základní myšlenka této
technologie odvozena) musí používat přesnější jemnější
způsoby. Vrstva
se napaří jen místě těchto otvorů. Proces opakuje jinou šablonou
a jiným naparovaným materiálem několika takových operacích
vznikne podložce struktura tenkovrstvého obvodu všemi sou
částkami. tenkého plechu ušlechtilé
oceli), která otvory tvaru žádaného vzorku (obr. Technologií tenkých vrstev lze jeden
čtverečný centimetr směstnat 100 součástek! Podrobnosti struktury
obvodu lze těžko rozeznat použitím dobré lupy. Tyčinka nebo
drát naparovaného materiálu konci prudce ohřívá odpařuje
dopadajícím elektronovým paprskem samočinně posouvá záběru
s paprskem. podložku napaří větší nebo menší tloušťka
vrstvy podle doby naparování. 38).
Nevýhodou může být to, při tom někdy odpařuje nanáší
i materiál kelímku. Toho využívá tak,
že těsně podložky umístí šablona (např.
Pro vytvoření potřebných tvarů součástek vodičů používají
šablony masky, jednotlivé vrstvy např. Obojí evakuovaném prostoru vzdále
nosti asi sebe
